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    日東
    中國

    切割過程中所用的紫外線輻照器 NEL SYSTEM? Series

    該設備可用于將紫外線輻照在晶圓背面的切割膠帶上，以降低粘合強度。 我們具有一系列全自動型和半自動型粘貼器，可用于尺寸較大的晶圓。

    聯系 (關于產品)

    【產品技術支持中心】

    1. 華東區域：021-57745720
      （8:45～17:15）
    2. 華南區域：0755-88641173
      （8:45～17:30）
    3. 華北區域：010-85997468-121
      （8:45～17:30）

    上述括號內為營業時間（北京時間）周六、周日和節假日除外

    E-mail

    UA3000IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

    用于 300 mm 晶圓的全自動紫外線輻照器

    操作流程

    特征

    • 可用于 8""/6"" 的框架
    • 自動計算紫外線輻照時間
    • 輻照面積擴大（相對于框架面積）
    • 具有 N2 凈化功能
    • 紫外線輻照之后檢查標記印記
    • 可通過觸摸面板和配方功能實現簡易操作
    • 日志文件功能標準設備
    • 符合 CE mark / SEMI S2/S8" 規范要求

    基本規格

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    • 可用框架尺寸：300 mm／200 mm
    • 可用晶圓尺寸：300 mm／200 mm
    • 吞吐量：60 晶圓/小時
    • * 上述規格受晶圓/膠帶/其他條件影響，而且在幾種情況下還包括選擇功能。
      如果條件適合，也可使用超出上述規格的晶圓。 請與我們聯系。

    UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

    用于 200 mm 晶圓的全自動紫外線輻照器

    操作流程

    特征

    • 可用于 8"/6" 框架
    • 自動計算紫外線輻照時間
    • 輻照面積擴大（相對于框架面積）
    • 具有 N2 凈化功能
    • 紫外線輻照之后檢查標記印記
    • 可通過觸摸面板和食譜功能實現簡易操作
    • 日志文件功能標準設備
    • 符合 CE 標志 / SEMI S2/S8 規范要求

    基本規格

    • 可用框架尺寸：8 英寸 (in)／6 英寸 (in)
    • 可用晶圓尺寸：8/6/5/4 英寸 (in)
    • 吞吐量：TAIKO 晶圓：100 晶圓/小時
    • * 上述規格受晶圓/膠帶/其他條件影響，而且在幾種情況下還包括選擇功能。
      如果條件適合，也可使用超出上述規格的晶圓。 請與我們聯系。

    UM810/UM110

    UM810：用于 8" 晶圓的半自動紫外線輻照器
    UM110：用于 6" 晶圓的半自動紫外線輻照器

    操作流程

    特征

    • 配有紫外線輻照計時器（設定范圍： 0 - 999 sec.）
    • 具有 N2 凈化功能
    • 紫外線照度計（可選）
    • 輻照面積擴大（相對于框架面積）（可選）

    基本規格

    • 可用框架尺寸：UM810：8 英寸 (in)／6 英寸 (in) ?UM110：6 英寸 (in)
    • 可用晶圓尺寸：UM810：8/6/5/4 英寸 (in)　UM110：6/5/4 英寸 (in)
    • * 上述規格受晶圓/膠帶/其他條件影響，而且在幾種情況下還包括選擇功能。
      如果條件適合，也可使用超出上述規格的晶圓。 請與我們聯系。

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